1.测量中心距离:100mm±35mm
2.分辨率/重复精度:100um
3.测量范围:100±35mm
4.直线性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:约Φ150um
1.测量中心距离:100mm±35mm
2.分辨率/重复精度:100um
3.测量范围:100±35mm
4.直线性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:约Φ150um
1.测量中心距离:400mm±200mm
2.分辨率/重复精度:800um
3.测量范围:400±200mm
4.直线性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:约Φ500um
1.测量中心距离:400mm±35mm
2.分辨率/重复精度:400um
3.测量范围:400±200mm
4.直线性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:约Φ500um